[인터뷰] 김남욱 신성이엔지 상무 "1만 FFU 솔루션, 웨이퍼 수율 관리"

신성이엔지, '에어페어 2026'서 FFU 기반 솔루션 공개

신성이엔지가 기존 FFU에 조명, 화학필터, 이온화장치 등을 붙인 다양한 FFU 솔루션을 8일 서울 코엑스에서 시작된 에어페어 2026에서 선보였다. 사진은 김남욱 ENG 사업부문 영업지원팀장(상무). 사진=데일리한국 안희민 기자

[데일리한국 안희민 기자] 반도체 설비 국산화로 한국 반도체 산업을 글로벌 탑 티어로 이끈 신성이엔지가 8일 서울 코엑스에서 개막된 '에어페어 2026'에서 팬필터유닛(FFU) 기반 솔루션을 공개했다.

이날 신성이엔지 부스에서 만난 김남욱 상무는 “FFU 솔루션이 반도체 웨이퍼의 목표 품질·수율 확보에 필수기자재”라고 강조했다. 21년간 신성이엔지 기술연구소에 근무하다가 최근 영업지원팀을 맡으며 기술지원 업무를 담당하고 있다.

그는 “공장(Factory·팹) 하나에 산업용 공기청정기가 1만개씩 설치돼 있다”며 “공기청정기 아래에서 반도체 웨이퍼를 생산하기 때문에 FFU의 신뢰성이 중요하다”고 말했다.

신성이엔지는 반도체 설비 가운데 공기의 흐름을 제어하는 FFU를 생산한다. 스마트공장인 용인 사업장에서 3D 프린터로 출력해 전자제어기기를 달아 완제품을 만든다. 최근엔 화학필터·조명설비를 붙인 제품을 출시했다. 화학물질 제거기·LED 조명 등을 별도로 설치하지 않아도 되는 이유다.

실제로 신성이엔지는 부스에서 FFU에 화학필터를 붙인 ICF(Internal Chemical Filter FFU), 이온화 장비를 붙인 IIF(Internal lonizer FFU), 일정 풍속을 유지하는 AVC(Active Air Velocity Control FFU)를 소개했다. 조명을 삽입한 LlF(Internal Lighting FFU)도 공개했다.

김 상무는 이러한 시도를 스마트폰 제조에 비유했다. 한정된 공간에 여러 기술을 삽입하는데 극복해야할 기술적 난제가 많다는 것이다.

그는 “제조사가 요구하는 기대성능을 충족하는 것이 보통일이 아니다”라며 “반도체 수율 확보에 온·습도, 입자가 가장 중요하다”고 말했다. 이어 “엔비디아의 경우 삼성전자 반도체 공장의 온습도 트랜드 데이터를 직접 확인한다”고 덧붙였다.

이어 그는 “반도체 공장에선 백색 조명과 주광색 조명을 구별해 쓰는 이유는 조명의 광량·파장에 따라 반도체 웨이퍼의 수율이 달라지기 때문”이라고 설명했다.

김 상무는 “기술적 난점을 극복하고 개발한 FFU 기반 솔루션을 이차전지 드라이룸, 반도체 공장, LCD 공장 등에 납품한다”며 “앞글자만 들어도 알 수 있는 기업의 공장에 공급한다”고 덧붙였다.

신성이엔지는 부스에 FFU 솔루션뿐만 아니라 소형 VOCs 제거기, 미립자 가시화 장비 등을 선보였다. 사진=데일리한국 안희민 기자