셈프로 시리즈는 2018년 세계 3대 디자인상 레드닷의 산업디자인 컨셉 부문 최우수상을 받은 바 있다.(자료=세메스)
반도체 장비 업체 세메스가 프로브 스테이션 장비의 5000호기 양산 출하식을 가졌다고 8일 밝혔다.
출하식은 세메스 천안 본사에서 열렸다. 심상필 세메스 대표와 임직원, 협력사 대표 등 50여명이 참석했다.
세메스는 셈프로(SEMPRO)라는 프로브 스테이션 제품군을 보유 중이다. 세메스는 해당 제품군을 2003년 첫 양산하고 2014년 셈프로 N으로 1000대, 2020년 셈프로 프라임으로 2000대를 출하했다. 이후 2년마다 출하량이 1000대씩 증가해 약 22년만에 5000호기 출하를 달성한 것이다. 올해 달성 모델은 셈프로 플러스다.
프로브 스테이션은 웨이퍼 칩 단위별로 전기 특성을 검사(EDS)하는 장비다. 테라다인과 어드반테스트의 자동 테스트 장비(ATE)와 결합해 사용한다. 프로브 스테이션은 웨이퍼를 옮기고 각 칩을 프로브카드 핀에 접촉(컨택)시키는 등 물리 동작을 담당한다. ATE가 칩의 검사 명령을 내리고 불량 여부를 판정한다.
최병갑 세메스 테스트패키징 팀장은 "인공지능(AI) 칩과 고대역폭메모리(HBM) 등 고성능 반도체의 수요 증가로 반도체 웨이퍼 테스트 공정의 난이도가 높아지고 있다"며 "5000호기 출하로 장비 품질과 신뢰성을 인정받으며 HBM 테스트 분야에서 경쟁사 대비 기술 우위를 확보했다고 강조했다.
세메스는 "셈프로는 업계 최고 수준의 고대역폭메모리(HBM) 테스트 발열 제어와 고 하중 컨택 정밀도로 EDS 공정 효율에 기여하고 있다"며 "현재 무인 자동화 기능을 도입해 스마트팩토리형 장비도 생산하고 있다"고 설명했다.
셈프로 시리즈는 2018년 세계 3대 디자인상 레드닷의 산업디자인 컨셉 부문 최우수상을 받은 바 있다.
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