민남홍 세미티에스 대표가 9일 서울 여의도 CCMM 빌딩에서 열린 기업설명회에서 회사의 전략에 대해 소개하고 있다. (사진=디일렉)
SK하이닉스와 주로 거래하는 반도체 자동 물류 반송 시스템(AMHS) 업체 세미티에스가 천장형 자율주행로봇(AMR) 로봇을 만든다. 천장반송시스템(OHT) 대비 높은 범용성과 유기성을 갖춘 것이 특징이다.
민남홍 세미티에스 대표는 9일 서울 여의도 CCMM 빌딩에서 스팩합병 상장 간담회에서 "공중 이송로봇(천장형 AMR)을 만들 것"이라며 "결과가 나오기까지 2~3년이 소요된다"고 말했다. 기존 반도체 팹에서 널리 쓰이는 이송 시스템인 OHT를 천장형 AMR로 대체하는 것을 목표로 세웠다.
천장형 AMR는 OHT의 단점을 보완한 물류 시스템이다. 정해진 레일에 따라 움직이는 OHT와 다르게 유기적으로 웨이퍼 풉(FOUP)을 이송한다. 실시간으로 최적의 경로를 계산하고 이동해 생산량을 유동적으로 조정할 수 있다. 개별 로봇 단위로 보수가 가능해 유지 비용 절감도 기대된다.
AMR는 반도체 공장에서 상용화된 사례가 많지 않다. 웨이퍼는 미세한 공정으로 이뤄진 만큼, 작은 진동에도 예민한 탓이다. OHT와 달리 이송 장치를 잡아주는 고정 레일이 없어 진동이 발생할 수 있다.
AMR이 이동하면서 발생하는 티끌 하나도 반도체 생산 수율에 영향을 줄 수 있다. 세미티에스는 먼지 저감 기술을 개발한다. 로봇 하부 공간에 집진 시설로 파티클을 최소화한다. 먼지를 빨아 들여 파티클 문제를 사전 차단한다.
세미티에스는 최대 5000대를 동시 컨트롤할 수 있는 지능형 제어 시스템을 만든다. ±1mm 수준의 정지 정밀도를 구현한다. 15kg의 이송 무게를 처리할 수 있는 하드웨어를 설계한다.
우선 중국 로보틱스 업체와 천장형 AMR을 함께 개발하기로 했다. 세미티에스는 AMR에 적용되는 소프트웨어를 담당한다.
중국과의 협력은 양날의 검이다. 미중 갈등으로 인한 피해가 야기될 수 있기 때문이다. 세미티에스는 2023년 설립 이래 첫 영업 손실을 기록했다. 반도체 시장 악화와 대외적인 정세 변화 탓이다. 회사는 중국 업체 요청으로 OHT를 개발했는데, 대외적인 정세 변화로 수출 길이 막히면서 개발 비용은 손실로 이어졌다.
우회 전략으로 대책을 마련한다. 중국산 부품을 사용하면, 미국 수출이 막히는 만큼 중국 외 부품을 사용하겠다는 방침이다.
세미티에스는 반도체 클린룸에 쓰이는 컨베이어 벨트와 OHT 등을 제공하는 업체다. 코스닥 상장 법인 엔에이치기업인수목적29호와 스팩 소멸 합병 방식으로 상장한다. 최근 거래소의 예비상장심사를 통과했다. 회사는 오는 5월 20일 스팩 합병 후 6월 5일 상장이 목표다.
현재 수주잔고는 273억원으로, 2025년 매출(229억원)을 넘어섰다. 신제품 '질소 퍼지 시스템'도 이르면 올해 매출이 기대된다. 질소 퍼지 시스템은 웨이퍼가 버퍼에서 이송 대기 중일 때 산소와 수분에 노출돼 부식이 발생하는 것을 방지하는 기술이다. 세미티에스의 강점은 비개조형 시스템이다. 기존 버퍼에 질소 퍼지 플레이트를 추가하는 방식으로 설비가 간단하며 장비 보증 문제가 없다. 국내 고객으로부터 품질 검증 중이며, 올해 결과가 나올 것으로 예상된다.
회사의 주요 고객은 SK하이닉스, 창신메모리(CXMT) 등이다. SK하이닉스 이천 공장에 컨베이어 시스템을 공급한다. 클린룸에서 운영할 수 있는 청정도를 유지하고, 정전기 방전(ESD)을 지원한다.
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