이명우 싸이노스 기술본부 본부장 l 촬영 - 에이빙뉴스
싸이노스가 ‘모두의 아이디어’를 통해 반도체 공정에서 요구되는 완전 건조 해법을 찾기 위한 과제를 제시했다. 해당 과제는 정밀함이 곧 경쟁력이 되는 반도체 산업에서, 부품 내부에 잔존하는 수분을 완벽하게 제거할 수 있는 기술적 아이디어를 발굴하기 위한 것으로, 복잡한 구조의 부품까지 고려한 새로운 접근이 요구된다.
지식재산처가 개최한 국민 참여형 국가 성장 프로젝트 ‘모두의 아이디어’는 아이디어를 보유한 국민 누구나 참여해 정책과 산업 혁신에 기여할 수 있도록 기획된 공모다.
이에 싸이노스의 이명우 기술본부 본부장을 만나 과제 제시 배경과 기업의 기술 방향, 그리고 공모 참여 취지와 기대 효과에 대해 들어봤다.
Q. 싸이노스에 대해 소개 부탁드린다.
A. 이명우 싸이노스 기술본부 본부장(이하 이명우 본부장) :
싸이노스는 반도체 부품에 사용되는 다양한 모재와 소재 표면을 대상으로, 준비·처리·보호·분석·품질 등 5대 기술 영역을 중심으로 연구개발을 수행하는 기업이다.
특히 독자적인 표면 케어 기술을 기반으로, 반도체 공정의 안정성과 품질을 높이는 데 기여하는 표면 전문기술 기업으로 자리매김하고 있다.
Q. 현장에서 ‘혁신적인 아이디어’가 가진 힘을 체감하신 경험이 있으셨다면 공유 부탁드린다.
A. 이명우 본부장 :
특수 소재를 이용해서 반도체 부품을 개발한 한 업체가 있었는데, 챔버 장착 시 다수의 파티클이 발생하는 문제로 실제 공정에 적용되지 못하는 상황이 있었다.
이를 해결하기 위해 외부 정밀 세정 업체는 물론, 자체적으로도 화학적·물리적 세정을 시도했으나 큰 효과를 얻지 못했다. 그러나 한 팀원이 소재 표면에 산화막을 형성해 잔류 초미세 파티클과 결합시킨 뒤 화학적으로 제거하는 방안을 제안했고, 이를 적용한 결과 기대 이상의 파티클 제거 효과를 확인할 수 있었다.
이 경험을 통해 작은 아이디어 하나가 기술적 한계를 극복하고 실제 문제 해결로 이어질 수 있음을 체감했다.
Q. ‘모두의 아이디어’에 참여하시게 된 계기는 무엇인지.
A. 이명우 본부장 :
반도체 공정이 미세화될수록 부품 구조는 더욱 복잡해지고, 작은 불량 하나가 전체 공정 수율에 치명적인 영향을 미칠 수 있다.
이에 따라 싸이노스는 내부 전문가의 시각을 넘어, ‘모두의 아이디어’를 통해 국민의 집단지성에서 새로운 해법을 찾고자 한다. 이를 통해 기술적 한계를 극복하고, 글로벌 반도체 공급망에서 품질 경쟁력을 한층 강화할 수 있을 것으로 기대하고 있다.
이명우 본부장(우)이 인터뷰를 진행하는 모습 l 촬영 - 에이빙뉴스
Q. ‘모두의 아이디어’를 통해 국민들로부터 제안받고자 하는 과제에 대해 소개 부탁드린다.
A. 이명우 본부장 :
싸이노스의 핵심 과제는 반도체 부품에 잔존하는 수분을 짧은 시간 내 완벽하게 제거할 수 있는 기술을 확보하는 것이다.
싸이노스는 국민이 제안하는 모든 아이디어를 중요한 자산으로 인식하고 있으며, 새로운 관점에서 제시된 해법이 현재의 기술적 한계를 극복하고 향후 발전의 출발점이 되기를 기대하고 있다.
아울러 창의적인 아이디어가 제안될 경우 이를 적극적으로 수용해, 글로벌 표준으로 발전시켜 나갈 계획이다.
Q. 반도체 장비의 부품 속에 제거되지 않은 물방울이 있다는 것은 언제, 어떻게 알 수 있는지 궁금하다.
A. 이명우 본부장 :
세정 직후에는 부품 내부의 수분이 외관상 쉽게 드러나지 않는다. 다만 건조 이후 진행되는 정밀 검사 과정에서 워터스팟이 확인되거나, 일부 부품을 챔버에 장착한 뒤 진공을 잡는 과정에서 수분이 기화하며 발생하는 진공도 저하 현상을 통해 잔존 수분을 확인할 수 있다.
부품 내부의 좁은 홀이나 미세한 틈새에 수분이 잔존하는 경우도 많다.
Q. 완전 건조가 필요한 반도체 부품 재질은 어떤 것들이 있는지.
A. 이명우 본부장 :
주요 모재로는 알루미늄, 스테인리스 스틸, 쿼츠, 세라믹 등이 있다.
또한 부품 표면에는 보호를 위해 아노다이징 처리가 적용된 경우가 있으며, 일부는 Y₂O₃(산화이트륨) 등 이트륨계 내플라즈마형 세라믹 코팅이 적용된 부품도 있다.
Q. 뜨거운 공기와 오븐 이외 다른 특수 건조방법을 사용한 사례가 있는지.
A. 이명우 본부장 :
알코올계를 활용한 증기 건조 방식이나 가스를 이용한 건조, 진공 건조 등 다양한 특수 건조 방법이 적용되고 있다. 또한 최근에는 에어나이프 방식으로 강한 공기를 이용해 수분을 제거하는 기술도 활용되고 있다.
다만 이러한 방법에도 불구하고, 복잡한 형상의 부품 내부에 잔존하는 수분을 완벽하게 제거하는 데에는 여전히 한계가 있는 상황이다.
Q. ’모두의 아이디어’에 관심 있는 국민들에게 왜 지금 모두의 아이디어에 도전해야 하는지 한 말씀 부탁드린다.
A. 이명우 본부장 :
싸이노스는 긍정적인 사고로 도전에 임하고, 동료를 존중하는 인재상을 지향하고 있다. 이러한 관점에서 ‘모두의 아이디어’를 통해 국민을 새로운 동료로 생각하고, 다양한 의견을 적극적으로 수용하고자 한다.
국민의 아이디어가 현재 직면한 기술적 과제를 해결하는 데 도움이 될 수 있을 것으로 기대하고 있으며, 도전에 따른 실패를 두려워하지 않는 자세로 공모에 참여하고 있다.
창의적인 아이디어가 반도체 산업의 혁신으로 이어질 수 있다고 생각하며, 많은 참여와 제안을 기대한다.
한편, ‘모두의 아이디어’는 아이디어를 보유한 대한민국 국민 누구나 참여할 수 있으며, 오는 4월 15일 18시까지 공식 홈페이지를 통해 접수가 진행된다.
*이 기사는 기자의 직접 취재(인터뷰·녹취)를 기반으로 작성됐습니다. AI는 취재 내용 추출과 초안 정리 과정에서 보조 도구로 활용됐으며, 최종 기사는 기자와 에디터의 편집 및 검수를 거쳤습니다.
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