한국에너지기술평가원, 엘오티베큠 방문..."반도체 생산 공정 에너지 절...

 한국에너지기술평가원(에기평)은 지난 11일 에기평이 지원하는 에너지 수요 관리 기술 개발을 수행 중인 엘오티베큠을 방문해 연구·산업 현장을 점검하고 협력 방안을 논의했다고 16일 밝혔다.

에기평은 에너지 수요 관리 기술 개발에 약 2000억원 규모의 예산을 지원하고 있다.

에기평에 따르면 주관연구개발기관 엘오티베큠은 현 반도체 공정 주력 제품인 배기 속도 분당 3만 리터(L/min)급 시제품의 설계·제작을 진행 중이며, 참여 기관과 협력해 고효율 진공 시스템 요소기술 개발을 진행 중이다.

연구 개발 과제는 기존 진공 시스템 소비 에너지의 20% 절감 추진이다. 이를 통해 질소 사용량 감소 등 운영비용 절감과 탄소배출 감축이 기대된다.

이승재 에기평 원장은 "앞으로 확대될 반도체 생산 공정에서 에너지 절감은 필수적으로, 반도체 호황과 맞물려 탄소중립 이행에 크게 이바지할 것으로 기대된다"며 "우수한 기술력을 바탕으로 기후위기 극복을 위한 에너지 효율 혁신과 조기 상용화를 적극 지원하겠다"고 말했다.

이종수 기자

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