테스 PECVD 장비 챌린저.(자료=디일렉)
반도체 전공정 장비 업체 테스가 SK하이닉스에 485억원 규모의 장비를 공급한다.
테스는 12일 SK하이닉스와 반도체 제조 장비 공급 계약을 체결했다고 공시했다. 구체적인 장비명은 공개하지 않았다. 계약 금액은 485억원이다. 지난해 연결 기준 연 매출 3511억원의 약 14% 규모다. 양사는 최근 3년 동안 지속적으로 비슷한 계약을 체결해 왔다.
계약 기간은 이날부터 오는 11월 4일까지다. 테스는 계약 종료일 전까지 SK하이닉스 국내 사업장에 특정 장비를 제조해 공급한다. 장비를 공장에 반입한 후 계약 대금의 90%를 받는다. 이어 장비 설치와 점검을 마친 셋업 완료 시점에 나머지 10%를 받는다. 별도 계약금은 없다.
테스는 반도체 공정용 장비로 플라스마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 장비와 건식 가스 식각(GPE) 장비, 세정 장비 등을 보유하고 있다. PECVD 장비는 플라스마를 이용한 화학 반응으로 웨이퍼 표면에 박막을 증착한다. GPE는 불화수소 가스를 사용해 웨이퍼 표면에 있는 산화막을 깎아내는 역할을 한다. 세정 장비도 가스로 공정 중간에 발생하는 찌꺼기를 제거한다.
테스는 삼성반도체 제조기술팀장과 SK하이닉스의 전신인 현대전자산업 제조총괄 부사장을 맡았던 주숭일 대표가 설립했다.
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정일주 기자
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