주성엔지니어링 ALG 반도체 제조 장비 출하식 사진. 사진=주성엔지니어링 제공
[데일리한국 이보미 기자] 주성엔지니어링이 차세대 반도체 시장 선점에 나선다.
주성엔지니어링은 ‘세계 최초 ALG(Atomic LayerGrowth) 트랜지스터 풀 인터그레이션 반도체 제조장비’를 글로벌 반도체 기업에 공급한다고 18일 밝혔다.
반도체뿐 아니라 디스플레이, 태양광 장비에도 확대 적용될 수 있다. 현재 북미, 아시아, 유럽, 중동 등의 글로벌 기업들과 협업을 이어가고 있는 것으로 알려졌다.
반도체 산업 기술의 발전과 성장은 웨이퍼와 같은 한정된 공간에 더 많은 집(반도체 칩)을 짓는 테크 마이그레이션(공정 미세화)에 의해 결정됐다. 한정된 공간에 집과 도로 등을 늘리기 위해 선폭이 나노미터 단위까지 초미세화됐다는 의미다. 트랜지스터 소자 또한 미세화될수록 누설 전류가 증가해 전력 소모가 크게 커지는 어려움이 있었다.
글로벌 반도체 메이커들은 테크 마이그레이션 한계를 극복하기 위해 기존 수평 구조의 트랜지스터에서 수직 적층 구조의 트랜지스터(버티컬 채널 트랜지스터로)의 전환에 주목했다. 또 높은 전자 이동도, 낮은 누설 전류, 높은 열안정성 등의 특징을 가진 차세대 트랜지스터 채널 소재를 상용화하기 위해 소·부·장 기업들과 협업이 필수다.
특히 고집적향 수직 적층 구조의 차세대 트랜지스터 제조에는 우수한 단차 피복성과 균일도 확보가 요구된다. 주성엔지니어링은 세계 최초 온리 원 혁신 기술을 바탕으로 고종횡비 수직 적층 구조에서도 균일한 박막 성장과 증착이 가능한 ‘세계 최초 ALG 트랜지스터 풀 인터그레이션 장비’를 시장에 선보였다고 소개했다.
주성 관계자는 “앞으로도 세계 최초, 온리 원 혁신 기술을 바탕으로 세계 반도체, 디스플레이, 태양광 제조 산업의 새로운 패러다임을 제시하겠다”고 밝혔다
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