SK하이닉스가 24일 ASML코리아로부터 2년간 EUV 스캐너를 공급받는다고 공시했다.
총 계약 금액은 장비 가격과 설치·개조 비용을 포함해 11조9500억원으로 2024년 말 자산총액의 10% 수준이다.
업계에서 EUV 장비 1대당 가격을 약 5000억원으로 보는 점을 감안하면 총 24대를 확보하는 셈이다. 이번에 공시된 장비는 기존 EUV 대비 해상도를 대폭 향상시킨 하이 NA EUV 장비로 예상된다.
SK하이닉스. 사진=양정민 이코노믹리뷰 기자
SK하이닉스는 취득 목적에 대해 차세대 공정 양산 대응을 위한 EUV 장비 확보라고 명시했다. HBM 등 고부가 메모리 양산에 필요한 장비를 적기에 확보하기 위한 전략으로, 올해 6세대(1c) D램 선단 공정 전환 가속화와 맞물려 있다. 회사는 1c 공정 전환을 통해 SOCAMM2·GDDR7 등 AI 메모리 제품군을 확대할 계획이다.
장비는 청주와 용인 팹에 나눠 투입될 것으로 예상된다. SK하이닉스는 이달 충북 청주 M15X의 페이즈4(PH4) 클린룸을 오픈하고 장비 반입에 나서며, 용인 클러스터 1기 팹 클린룸 오픈은 내년 2월로 예정돼 있다. 앞서 SK하이닉스는 지난해 9월 이천 M16에 양산용 하이 NA EUV 장비를 반입한 바 있으며, 2021년부터 EUV 장비 도입을 이어오고 있다.
하이 NA EUV 장비는 광학 기술이 기존 대비 40% 향상됐으며 1.7배 더 정밀한 현존 최첨단 패터닝 장비로, 점점 미세화되는 D램 회로 구현에 필수적인 장비다.
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