디램 특화 SK하이닉스 이천 M16 전경 [사진: SK하이닉스]
[디지털투데이 석대건 기자] SK하이닉스가 차세대 반도체 공정 양산에 대응하기 위해 약 12조원 규모의 EUV 장비 도입을 결정했다. 회사는 24일 이사회 결의를 통해 에이에스엠엘코리아 유한회사(ASML코리아)와 EUV(극자외선) 스캐너 구매 계약을 체결하기로 했다고 밝혔다.
계약 금액은 69억1340만유로로, 원화로 11조9496억7363만원에 달한다. 이는 2024년 12월31일 기준 연결 재무제표상 자산총액(119조8552억868만원)의 9.97%에 해당하는 규모다. 의사결정일 전일인 23일 하나은행 매매기준율(1유로당 1728.48원)을 적용했다. 다.
취득 예정일은 2027년 12월31일이며, 장비는 총 2년에 걸쳐 순차적으로 도입된다. 계약금액에는 EUV 스캐너 본체뿐 아니라 장비 설치·개조 등 운영에 필요한 신규 기계장치 일체가 포함된다. 대금은 개별 장비 취득 시마다 분할 지급 방식으로 납부한다.
취득 목적은 차세대 공정 양산 대응이다. EUV 장비는 기존 불화아르곤(ArF) 광원 대비 파장이 짧아 더 미세한 회로 패턴을 구현할 수 있어, 첨단 디램(DRAM)과 낸드 공정 전환의 핵심 설비로 꼽힌다. 회사 측은 이번 계약이 차세대 공정 전환 일정에 맞춘 장비 확보 차원이라고 전했다.
에이에스엠엘(ASML)은 EUV 장비를 독점 공급하는 네덜란드 반도체 장비 기업으로, 국내에서는 에이에스엠엘코리아 유한회사를 통해 영업 및 서비스를 제공하고 있다. 참고로 실제 취득가액은 환율 변동에 따라 달라질 수 있다고 회사는 덧붙였다.
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