컨슈머타임스=전은정 기자 | 케이씨 주가가 상승중이다.
케이씨는 10일 오전 10시 6분 기준 전일보다 5.45% 오른 3만1950원에 거래중이다.
케이씨가 SK하이닉스와 함께 반도체 공정용 지능형 가스 공급 시스템 관련 특허를 공동 출원하며 기술 협력에 나섰다. SK하이닉스와 직접 특허를 공동 출원한 것은 이번이 처음으로, 양사의 협력이 공정 자동화 및 효율화 영역으로 확장되고 있다는 점에서 주목된다.
업계에 따르면 양사는 2024년 6월과 2025년 12월, 가스 분배장치 및 통합 관제 시스템과 관련된 특허 2건을 잇달아 출원했다. 이 가운데 2024년 출원된 '공급라인 압력과 유량 조절이 가능한 가스 분배장치 및 이를 이용한 통합 관제 시스템' 특허는 2026년 1월 등록을 마쳤다. 해당 특허는 반도체 공정에 사용되는 가스를 안정적으로 공급하기 위한 물리적 구조, 즉 하드웨어 설계에 초점을 맞추고 있다.
핵심은 기존 배관보다 넓은 관경의 대용량 버퍼 탱크를 중간에 배치하는 구조다. 이를 통해 가스 실린더 교체 시 발생하는 미세한 압력 변화를 흡수하고, 공정 중단으로 이어질 수 있는 리스크를 최소화할 수 있다. 반도체 제조 공정은 압력과 유량 변화에 매우 민감하기 때문에, 이러한 안정화 기술은 생산성 확보에 중요한 요소로 평가된다.
이어 2025년 12월 출원된 '공급량 제어 분배장치' 특허는 앞선 특허를 기반으로 한 분할출원으로, 장치의 구동을 담당하는 제어 알고리즘, 즉 소프트웨어 기술을 다루고 있다. 두 특허는 하드웨어와 소프트웨어가 결합된 구조로, 통합적인 가스 공급 제어 시스템을 완성하는 형태다.
양사가 개발한 기술의 핵심은 가스 실린더 소진 시점을 동기화하는 데 있다. 질량유량제어기(MFC)와 무게 센서를 통해 각 실린더의 가스 잔량을 실시간으로 파악하고, 제어 시스템이 이를 바탕으로 사용량을 자동 조절한다. 가스가 많이 남은 실린더는 사용량을 늘리고, 잔량이 적은 실린더는 사용을 줄이는 방식으로 전체 실린더가 동시에 소진되도록 유도하는 구조다.
기존 반도체 생산 라인에서는 가스 실린더마다 소진 시점이 달라 작업자가 수시로 교체 작업에 투입돼야 했고, 일정 조정을 위해 남은 가스를 폐기하는 경우도 적지 않았다. 이번 기술은 이러한 비효율을 개선함으로써 운영 비용 절감과 작업 효율 향상에 기여할 것으로 기대된다.
또한 통합 관제 시스템을 통해 각 라인의 가스 사용량과 잔량 데이터가 중앙 서버로 전송되고, 관리자 단말기에서 이를 실시간으로 확인할 수 있다. 이는 데이터 기반의 공정 관리 체계를 구축하는 데에도 중요한 역할을 할 전망이다.
업계에서는 이번 특허가 단순한 장비 개선을 넘어 반도체 공정 운영 방식의 자동화 수준을 한 단계 끌어올리는 기술로 평가하고 있다. 동시에 가스 낭비를 줄여 탄소 배출 저감에도 기여할 수 있어 환경·사회·지배구조(ESG) 측면에서도 의미 있는 진전이라는 분석이 나온다.
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