ACM리서치가 최근 싱가포르 소재 다국적 파운드리 고객사의 전공정 웨이퍼 팹 생산라인에 300mm(12인치) 단일 웨이퍼 세정 시스템을 공급했다고 밝혔다. 이번 공급은 ACM이 싱가포르 소재 팹에 장비를 납품한 첫 번째 사례다.
ACM리서치는 “싱가포르는 아시아를 비롯한 다양한 시장을 지원하는 핵심적인 글로벌 반도체 제조 허브”라며 “이번 공급은 전략적으로 중요한 글로벌 생산 거점을 적극 지원하며 ACM리서치의 혁신적인 기술력과 제품 품질에 대한 신뢰를 바탕으로 이뤄졌다”고 밝혔다.
첨단 반도체 제조 공정을 위한 웨이퍼 후면 세정과 습식 식각 공정을 지원하는 이 시스템의 핵심 공정 기술은 국제적인 공정 검증을 거쳤으며 글로벌 선도 반도체 제조회사들이 요구하는 엄격한 성능과 수율, 신뢰성 기준을 충족하도록 설계됐다고 ACM리서치는 설명했다.
특히 이 시스템은 베르누이 척(Bernoulli chuck)을 활용한 질소 보호 기반 웨이퍼 후면 핸들링 기술을 적용해 공정 안정성을 높였고 화학물질 재활용 기능을 통합해 비용 효율적인 운영을 지원한다.
질소 기반의 2종 유체 세정 기술과 첨단 노즐 스캐닝 아키텍처를 결합해 정밀하고 균일한 공정 성능을 구현해 실리콘 및 박막 공정을 포함한 다양한 습식 식각 애플리케이션에 유연하게 적용할 수 있다.
데이비드 왕 ACM리서치 CEO는 “싱가포르 고객사에 대한 이번 첫 번째 장비 공급은 전세계 유수 팹들의 첨단 반도체 제조를 지원할 수 있는 ACM의 역량을 입증하는 사례”라며, “현대 반도체 제조 환경에서 요구되는 높은 성능 및 신뢰성 기준을 충족하는 차별화된 공정 기술을 제공하는 데 주력할 것”이라고 밝혔다.
댓글
0