큐알티가 투과전자현미경(TEM)을 추가 도입한다.(사진=큐알티)
반도체 신뢰성 검사 분석 기업 큐알티(QRT)가 투과전자현미경(TEM)을 추가로 도입한다. 반도체 분석 의뢰 수요가 크게 늘어나면서 2년 만에 TEM 분석 처리 능력을 두 배로 키운다.
큐알티는 최근 두 번째 TEM 장비를 전용 공간(룸)에 설치, 추가 분석 환경을 구축하고 있다고 23일 밝혔다. 오는 5월 전 모든 설치, 구축을 마치고 장비 가동을 시작할 계획이다.
TEM은 시료에 전자빔(e-빔)을 통과시켜 영상을 만드는 전자현미경이다. 전자현미경 중 가장 정밀한 분석 장비다. 나노 단위 미세 구조 분석과 원자 기호 수준 성분 확인까지 가능하다. 큐알티는 해당 장비로 가공된 웨이퍼를 분석한다. 국내외 반도체 장비 업체들의 장비가 반도체 공정을 제대로 작업했는지 확인하는 것이다.
큐알티 관계자는 "식각 장비 등 전공정 장비사는 고객사의 미세 기준에 맞춰 정확히 웨이퍼를 가공했는지 검증하고자 TEM 분석을 필수로 거친다"며 "장비사들은 양산 라인에 데모 장비를 투입하기 전 몇 달간 매일 웨이퍼 샘플을 큐알티로 보낸다"고 설명했다. 큐알티는 2024년 4월 TEM 한 대를 처음 도입해 전세계 장비 업체와 종합반도체제조사(IDM)로부터 꾸준히 분석 의뢰를 받고 있다.
큐알티가 TEM을 추가 도입하는 것은 분석 의뢰 수요가 급증하고 있기 때문이다. 큐알티는 TEM 분석 의뢰 서비스로 지난해 약 50억원의 매출을 올렸다. 2년간 누적 수익으로 초기 투자 비용도 모두 회수했다. TEM의 초기 투자 비용은 장비 구매 비용과 전용 룸 구축 등을 포함해 약 60억원이다. TEM은 미세 진동 제어와 시료를 가공하는 부대 장비, 관련 전문 인력을 갖춰야 운용 가능하다. 진입 장벽이 높다.
국내 민간 기업 중 TEM 분석 의뢰를 받는 곳은 큐알티가 유일하다. 본래 삼성전자나 SK하이닉스 같은 IDM이 사내 인프라로 협력 업체의 TEM 분석을 지원했다. 그러나 IDM들은 분석 처리 능력이 한계에 다다르며 외부 지원을 중단했다. 반도체 공정 기술 난도가 오르며 내부 분석 수요가 많아진 탓이다. 이에 따라 장비 업체들은 대학교나 공공 연구소 등 외부 기관의 TEM 분석 서비스를 이용해야 했다.
큐알티는 '패스트트랙 분석'으로 차별화했다. 고객사가 가공 웨이퍼 샘플을 전달하면 그 다음날 바로 분석 결과를 받아볼 수 있다. 기존 대학교나 공공 연구소는 분석 결과가 나오는데 최대 2달이 걸렸다.
특히 고객사 장비 별로 최적화한 맞춤형 상세 보고서도 함께 발행한다. 큐알티 관계자는 "최근 3년간 연간 매출에 버금가는 대규모 투자로 종합분석 부문 인력을 가장 많이 늘린 효과"라고 강조했다.
큐알티는 두 번째 TEM 도입으로 올해 종합분석 부문 매출 300억원 돌파를 목표로 세웠다. 지난해 분석 부문 매출 약 245억원 대비 55억원 이상 증가한 수치다.
올해 전사 매출도 신뢰성 검사 수요 확대로 상승할 전망이다. 국내 주요 고객사의 제품 다각화 덕분이다. 큐알티 관계자는 "지난해 주요 고객사의 개발 품목이 고대역폭메모리(HBM)에 집중되며 신뢰성 검사 제품군과 내수 매출이 감소했다"며 "올해는 맞춤형(커스텀) HBM과 컴퓨트익스프레스링크(CXL), 저전력 D램(LPDDR) 등 여러 차세대 제품 개발로 신뢰성 시험 수요가 크게 늘어날 것"이라고 내다봤다.
지난해 큐알티 연간 매출은 약 689억원, 영업이익은 48억원을 기록했다. 그 중 신뢰성 평가 부문 매출은 약 408억원으로 내수 비중은 87%였다.
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