유석재 헬리오스 대표
반도체 박막 정밀계측 장비 개발사 헬리오스가 파트너스라운지, 경북창조경제혁신센터, 포스텍홀딩스로부터 프리시드 투자를 유치했다. 경북창조경제혁신센터와 파트너스라운지가 공동 GP로 참여했으며, 투자 금액은 비공개다.
헬리오스는 인하대학교 물리학과 유석재 교수가 2025년 12월 창업한 대학 스핀오프 스타트업이다. 핵심 기술은 ‘마이크로 엘립소메트리(Micro Ellipsometry)’로, 반도체 웨이퍼 위 박막에 빛을 비춰 반사된 빛의 파장과 각도를 동시에 분석하는 방식이다. 기존 장비가 빛의 파장만을 측정 변수로 사용한 것과 달리 하나의 대물렌즈로 다양한 각도와 파장의 빛을 한 번에 분석해 사전 정보 없이도 정밀한 자동 계측이 가능하다. 세계 최초 상용화를 목표로 하고 있다.
현재 글로벌 반도체 박막 계측장비 시장은 KLA, Onto Innovation, J.A. Woollam 등 미국 기업이 사실상 독점하고 있어 국산화 요구가 큰 영역이다. 헬리오스는 첫 적용 분야로 3D 낸드플래시 박막 계측을 타깃하고 있으며, 국내 주요 협력사와 핵심 기술 NDA를 체결하고 공동개발(JDP)을 진행 중이다. 중소벤처기업부 디딤돌 첫 R&D 과제도 수주했다. 이번 투자를 바탕으로 2026년 3~4분기 중 소형 테이블탑 계측 장비 출시를 목표로 하고 있다.
유석재 헬리오스 대표는 “박막 두께 계측 기술은 50년 전 정립된 기술이 큰 틀의 변화 없이 사용되고 있어 미세화된 반도체 공정과의 간극이 크다”며 “마이크로 엘립소메트리라는 새로운 기술로 글로벌 기업과 경쟁할 수 있는 한국 대표 계측장비 기업으로 성장하겠다”고 말했다.
경북창조경제혁신센터
투자
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헬리오스
김민정
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