오로스테크놀로지 HE-900PAD 장비.(자료=오로스테크놀로지)
오로스테크놀로지가 초정밀 박막 두께 측정 장비의 국내 S사 품질(퀄) 테스트를 진행 중인 것으로 확인됐다. 이 장비 양산 공급이 이뤄지면 연간 매출 1000억원 돌파도 가능할 전망이다.
2일 업계에 따르면 오로스테크놀로지는 지난해 3분기부터 국내 S사에 '시크니스' 장비를 납품해 퀄 테스트를 받고 있다. 한 대가 아닌 복수의 장비를 동시에 검증하고 있다. 고객사 평가는 좋은 것으로 알려졌다. 오로스테크놀로지는 내부적으로 해당 퀄 테스트를 연내 완료하고 정식 주문을 받는 것을 목표로 하고 있다.
시크니스는 반도체 웨이퍼 위에 증착되는 박막 두께를 옹스트롬(Å) 단위로 측정할 수 있는 계측장비다. 옹스트롬은 원자 크기 수십 분의 1 수준인 0.1나노를 뜻한다. 10Å이 1나노다. 식각과 증착, 화학기계연마(CMP) 공정 등 반도체 전공정 대부분 단계에서 박막의 두께, 균일성, 평탄도 확인이 가능하다. 덕분에 불량 웨이퍼를 파악해 공정 수율을 높이고 생산 비용을 줄일 수 있다.
시크니스는 오로스테크놀로지의 기존 정렬(오버레이) 계측 장비 대비 활용도가 높다. 오버레이 계측은 반도체 웨이퍼 상부층과 하부층 간의 회로 패턴 정렬을 검사하는 기술이다. 보통 전공정 노광 공정 전후에 주로 사용됐다.
오로스테크놀로지는 시크니스가 대응할 수 있는 계측 시장 규모를 최대 3조원으로 분석한다. 오버레이 시장 규모의 약 2배다. 최근 반도체 공정이 더욱 미세화되고 다(多)적층 구조로 바뀌며 박막 두께의 정밀 측정 수요가 높아지고 있기 때문이다.
전공정 박막 계측 장비 시장은 KLA, 어플라이드머티어리얼즈 등 해외 업체가 독점했다. 기술 장벽이 높다. 국내 장비 업체 중에선 오로스테크놀로지가 유일하게 기술을 확보했다. 시크니스는 오로스테크놀로지 창업자인 최종립 전 대표 주도로 개발됐다. 연구소에서 개발을 시작해 2021년부터 신공장에 입주하며 시제품 제조를 시작했다. 이후 실제 테스트용 장비 공급까지 4년 정도가 소요된 것이다. 오로스테크놀로지는 시크니스가 중장기 성장 동력이 될 것으로 평가한다.
업계 관계자는 "글로벌 장비사들이 장비 공급 시 높은 이윤을 남기면서 가격을 지속 인상하고 있다"며 "삼성전자나 SK하이닉스는 단가 협상력을 높이고 공급망 다변화를 목적으로 국내 업체들의 기술 국산화와 양산 진입을 원하는 것으로 안다"고 설명했다.
오로스테크놀로지 기존 적외선(IR) 오버레이 계측 장비 HE-900ir도 국내 고대역폭메모리(HBM) 제조사 2곳에서 퀄 테스를 받고 있다. 해당 장비는 차세대 HBM 제조에 사용될 웨이퍼 투 웨이퍼(W2W) 하이브리드 본딩 공정에서 웨이퍼 정렬 상태와 접합 배치 정확성을 측정하는 용도다.
오로스테크놀로지의 단기 목표는 매출 1000억원 돌파다. 해당 매출 규모에서는 영업 레버리지 효과가 발생해 수익성이 극대화될 예정이다. 지난해 오로스테크놀로지의 연결 기준 연간 매출액은 521억원, 영업손실은 83억원으로 적자 전환했다.
댓글
0