세메스, 검사장비 5000호기...HBM 테스트 기술 고도화

세메스, 검사장비 5000호기...HBM 테스트 기술 고도화

이유나

기자

2026-04-08 13:37:23

세메스 반도체 검사장비 프로브 스테이션(설비명 SEMPRO)/사진제공=세메스

세메스가 천안 본사에서 차세대 반도체 검사장비 '프로브 스테이션(SEMPRO)' 5000호기 출하식을 열었다고 8일 밝혔다.

2003년 첫 양산 이후 22년만으로, 2014년 1000대, 2020년 2000대를 돌파한 뒤 2년마다 1000대씩 생산을 늘려왔다.

프로브 스테이션은 반도체 EDS 공정에서 웨이퍼의 개별 칩을 검사해 양품과 불량을 선별하는 장비다. 세메스는 HBM 테스트 발열 제어와 정밀도 기술을 바탕으로 생산 효율을 높였으며, 현재 무인 자동화 기반 스마트팩토리형 장비로 고도화하고 있다고 설명했다.

최병갑 세메스 팀장은 "AI와 HBM 같은 고성능 반도체의 수요증가로 반도체 웨이퍼 테스트 공정의 난이도가 높아지고 있다"며 "HBM 테스트 분야에서도 경쟁사 대비 기술우위를 확보하게 됐다"고 말했다. 해당 장비는 2018년 레드닷 디자인 어워드 '베스트 오브 베스트'를 수상한 바 있다.

이유나 머니투데이방송 MTN 기자