벡스코에 유체이송 시스템 이전···특허 9건 포함
반도체·디스플레이 공급망 자립 기반 마련
한국원자력연구원이 진공펌프 및 진공시스템을 생산·판매하는 기업인 벡스코에 고효율 유체이송 기술을 이전했다. [사진=한국원자력연구원]
한국원자력연구원이 반도체·디스플레이 공정에 활용 가능한 고효율 유체이송 기술을 국내 기업에 이전하며 핵심 장비 국산화에 나섰다.
원자력연은 5일 '고효율 가압·진공 유체이송 시스템' 기술을 진공펌프 전문기업 '벡스코'에 이전하는 기술실시계약을 체결했다고 밝혔다.
이번 계약은 정액기술료 1억원과 매출액의 1.5%를 경상기술료로 받는 조건이며, 관련 특허 9건과 노하우 1건이 포함됐다. 기술 실시 기간은 10년이다.
벡스코는 이번 기술 확보를 계기로 반도체·디스플레이 공정용 고효율 진공펌프와 초고진공(UHV) 환경 제어 시스템 분야로 사업을 확대할 계획이다.
해당 기술은 원통형 구조 내부에서 로터가 회전하며 유체를 흡입·가압·이송하는 '로터리 피스톤 방식'을 적용한 것이 특징이다. 내부 공간 변화에 따른 압력 차를 이용해 유체를 이동시키며, 별도 장치 없이 자흡과 진공 형성을 동시에 구현한다.
또 입·출수 방향 전환을 통해 양방향 이송이 가능하고, 점도가 높은 유체도 안정적으로 처리할 수 있다. 기존 회전식·왕복식 펌프의 한계를 개선해 고유량·고압은 물론 저진동·저소음을 동시에 구현했다는 게 연구원 설명이다.
이 기술은 권장순 처분성능실증연구부 박사 연구팀이 사용후핵연료 심층처분 시스템 연구 과정에서 개발했다.
그동안 핵심 유체이송 장비는 해외 의존도가 높았지만, 이번 기술이전을 통해 국산화 기반이 마련될 것으로 기대된다. 비용 절감과 공급망 안정성 확보, 기술 자립도 향상에도 기여할 전망이다.
임인철 부원장은 "해외 의존도가 높은 핵심 장비 분야에서 국산화 가능성을 제시한 성과"라며 "연구 성과가 산업 현장에서 활용될 수 있도록 지원을 이어가겠다"고 말했다.
댓글
0