디지털프론티어의 웨이퍼 검사장비 DF-5200.(자료=디아이)
디아이가 SK하이닉스에 962억 규모의 반도체 검사용 장비(테스터)를 공급한다.
디아이는 30일 자회사 디지털프론티어가 SK하이닉스와 6세대 고대역폭메모리(HBM) 웨이퍼 테스터 공급계약을 맺었다고 30일 전자공시를 통해 밝혔다. 계약 금액은 962억5000만원이다. 디지털프론티어의 지난해 연결 기준 매출액인 2466억9000만원 대비 39%에 해당하는 규모다.
장비 공급 대수는 50대 이상으로 추정된다. HBM4 웨이퍼 테스터는 지난해 SK하이닉스 품질 평가를 완료하고 올해부터 양산해 공급 중이다. 지난 1월에도 SK하이닉스와 997억원 규모의 동일 장비 공급 계약을 맺었다고 공시한 바 있다. 이달까지 계약한 총공급 규모는 1960억원이다.
디지털프론티어는 지난 27일 SK하이닉스로부터 구매주문서(PO)를 접수했다. 계약 종료일은 오는 8월31일까지다. 종료일 전까지 SK하이닉스 국내 반도체 생산공장(팹)에 테스터를 공급, 설치까지 마무리할 예정이다.
HBM4 웨이퍼 테스터는 웨이퍼 상태에서 베이스다이 위 D램을 적층한 후 전기적 특성을 검사하는 장비다. 웨이퍼 위에 형성된 수만 개의 실리콘관통전극(TSV)이 제대로 형성됐는지 확인한다. 회로에 전류를 흘려보내 설계대로 작동하는지 점검한다. 이 과정에서 불량 칩을 미리 파악해야 후속 공정인 패키징 단계에서 수율을 높일 수 있다. 이후 웨이퍼 칩을 자르는 다이싱 공정이 이뤄진다.
디아이는 디지털프론티어 지분을 65.18% 보유하고 있다. 디지털프론티어 자산 총액은 864억원으로 디아이 연결 자산 총액 3196억원의 27% 비중을 차지한다.
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