대구대, 반도체AI융합공정실 개소

대구대는 최근 반도체AI융합공정실 개소식을 가졌다.

대구대 반도체교육원 반도체부트캠프센터는 최근 공학 5관 5501호에서 첨단 반도체 제조 공정과 인공지능(AI) 기술을 접목한 ‘반도체AI융합공정실’ 개소식 및 현판식을 개최했다.

이번에 문을 연 ‘반도체AI융합공정실’은 학생들이 실제 산업 현장 수준의 실무 역량을 갖출 수 있도록 제조 공정부터 정밀 분석까지 전 과정을 아우르는 최신 장비들을 유기적으로 구축한 것이 특징이다. 특히 교육 및 연구 효율성을 극대화하기 위해 전 공정에 AI 기술을 접목했다.

공간은 크게 ‘반도체 공정 구역’과 ‘정밀 분석 구역’으로 나뉘어 운영된다. 반도체 공정 구역에는 박막 형성을 실습하고 AI 기반 증착 패턴 예측 모델링을 연구하는 △증착 공정(CVD) 설비, 에칭 및 세정 공정 최적화를 위한 △화학 공정 설비(Fume Hood)가 마련됐다. 아울러 기존 마스크 방식의 단점을 보완한 최신 △마스크리스 노광 장비(Maskless Photolithography)를 도입해 미세 패턴 형성 기술을 습득하고, AI 기반 패턴 설계 및 수율 향상 연구를 진행한다.

정밀 분석 구역에서는 △광 특성 분석 장비(PL/Raman Spectrometer)에서 얻은 소재 데이터를 AI 모델로 분석해 소재 분석 시간과 정확도를 높이는 ‘AI 융합 분석’이 이루어지며, △전기 특성 분석 장비(Probe Station)를 활용해 소자의 전기적 성능을 측정·평가하고 AI 데이터 분석을 통해 성능을 예측하는 연구를 수행하게 된다.

남승현기자 namsh2c@idaegu.co.kr